[发明专利]一种高精度晶圆表面缺陷检测装置及其检测方法有效
| 申请号： | 202010876766.1 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN111982931B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 邹伟金;徐武建;周波;苏达顺;付金宝 | 申请（专利权）人： | 高视科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/956;G01N21/88;G01N21/63 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 | 代理人： | 陈文福 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州高新区嘉陵江路1*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种高精度晶圆表面缺陷检测装置及其检测方法，涉及晶圆检测技术领域，该高精度晶圆表面缺陷检测装置包括组合光源和成像装置，所述组合光源用于切换不同光源照射晶圆，所述成像装置用于所述组合光源照射晶圆后的图像获取。由于晶圆的缺陷的多样性，比如表面脏污、错位、刮痕等，检测过程需要切换控制光源使缺陷更为明显，本发明通过可以切换不同光源的组合光源照射晶圆，针对不同的缺陷结构形态采用具有高适应性的打光方式，使各种缺陷在实际成像中更为明显，然后通过成像装置获取图像用于分析并判定缺陷类型，实现对多种晶圆表面缺陷的高精度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 表面 缺陷 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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