[发明专利]一种具有光学衍射层析成像功能的激光加工系统有效
申请号: | 202010876885.7 | 申请日: | 2020-08-27 |
公开(公告)号: | CN112008237B | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 贾宝华;姚涛 | 申请(专利权)人: | 伊诺福科光学技术有限公司 |
主分类号: | B23K26/064 | 分类号: | B23K26/064;B23K26/06;B23K26/067;B23K26/082;G02B26/10;G02B27/10;G02B27/28 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李晓光 |
地址: | 澳大利亚维多利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了一种具有光学衍射层析成像功能的激光加工系统,包括:集一体化设置的成像光路和加工光路;所述成像光路用于对待加工器件进行光学衍射层析成像;所述加工光路用于对所述待加工器件进行加工处理。并且,介绍了具体的光路结构,该激光加工系统在对待加工器件进行加工的过程中,在不需要对待加工器件进行移位的情况下,还可以对待加工器件进行实时成像,也就是说,在一套激光加工系统中就可以同时实现对待加工器件的激光加工处理和成像处理。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 光学 衍射 层析 成像 功能 激光 加工 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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