[发明专利]三维闪存存储器、控制电路、形成栅极叠层的方法

摘要

一种三维闪存存储器、控制电路、形成栅极叠层的方法，三维闪存存储器包括一栅极叠层结构，具有彼此电性绝缘的多个栅极层；一圆柱形通道柱，垂直地延伸穿过栅极叠层结构的每个栅极层，圆柱形通道柱的横截面为一圆柱体；一第一导电柱，垂直地延伸穿过栅极叠层结构，第一导电柱位于圆柱形通道柱内并电性连接至圆柱形通道柱；一第二导电柱，垂直地延伸穿过栅极叠层结构，第二导电柱位于圆柱形通道柱内并电性连接至圆柱形通道柱，第一导电柱和第二导电柱彼此分离。三维闪存存储器还包括一铁电层，设置于栅极叠层结构的此多个栅极层和圆柱形通道柱之间。