[发明专利]一种基于图模型的MOCVD腔体稳定性检测方法及系统在审
| 申请号： | 202010878766.5 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112097830A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 罗铁成;李健;王钢;裴艳丽 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G06F113/08;G06F119/08;G06F119/14 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 李思坪 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于图模型的MOCVD腔体稳定性检测方法及系统，该方法包括：根据MOCVD腔体内部的传感器得到MOCVD反应腔的参数；将MOCVD反应腔的参数输入预设的图模型，并基于判决条件得到稳定性状态、速度流线分布图和温度云图；将稳定性状态、速度流线分布图和温度云图展示。该系统包括：传感器模块、检测模块和展示模块。通过使用本发明，可以供详细、直观、准确的MOCVD腔体内部状况，从而指导实际生产，使得制作的薄膜产品生长速率、均匀性和质量得到提高。本发明作为一种基于图模型的MOCVD腔体稳定性检测方法及系统，可广泛应用于半导体应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 模型 mocvd 稳定性 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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