[发明专利]基于涡旋光干涉费马螺线拟合的球面波曲率半径测量装置及方法有效
| 申请号： | 202010879908.X | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN114111641B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 杨忠明;杨栋;刘兆军 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01B11/255 | 分类号： | G01B11/255 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 马千会 |
| 地址： | 250013 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于光学测量技术领域，涉及一种球面波曲率半径测量装置及方法。一种基于涡旋光干涉图样‑费马螺线拟合的球面波曲率半径测量装置，包括沿激光传输方向依次设置的激光器、扩束系统、第一分光棱镜、第一反射镜、第二反射镜、第二分光棱镜、CCD相机；在第一分光棱镜和第一反射镜之间依次设有四分之一波片和螺旋相位板；入射光的偏振方向与四分之一波片光轴的夹角成45°；所述CCD相机用于拍摄球面波与涡旋光的干涉强度图。本发明利用涡旋光干涉强度图样极大值分布满足标准费马螺线的原理，通过最小二乘法拟合极大值分布，获得费马螺线系数，进而求得球面波曲率半径，具有很高的测量精度和很宽的测量范围，且曲率半径求解算法简单。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 涡旋 干涉 螺线 拟合 球面 曲率 半径 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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