[发明专利]一种微型石墨烯环形谐振腔光学移相器在审
| 申请号： | 202010880514.6 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN111929928A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 陈宏尧;刘昶岭;王建萍 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型石墨烯环形谐振腔光学移相器，该光学移相器包括：环形谐振腔、直波导、第一电极以及第二电极；其中，直波导位于环形谐振腔的下方，环形谐振腔和直波导组成谐振腔；第一电极和第二电极嵌套于环形谐振腔的正上方；第一电极和第二电极中间的波导上铺有第一间隔层，第一间隔层上沉积有第一石墨烯层，第一石墨烯层上铺有第二间隔层，第二间隔层上沉积有第二石墨烯层，第二石墨烯层上铺有第三间隔层。本发明解决了由于传统的移相方法存在热串扰、高能耗和响应时间慢等缺陷，且器件体积较大，不适用于片上集成，严重制约了追求紧凑高速高带宽的通用线性电路的性能的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 石墨 环形 谐振腔 光学 移相器 | ||
【主权项】：
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