[发明专利]一种钝化接触太阳能电池的板式一体式镀膜方法及设备在审
| 申请号： | 202010880854.9 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112002631A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 陈嘉;马丽敏;包杰;林建伟 | 申请（专利权）人： | 江苏杰太光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人： | 吴倩 |
| 地址： | 225500 江苏省泰州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种钝化接触太阳能电池的板式一体式镀膜方法及设备，其包括如下步骤：S1.将硅片平铺放置在载板上；S2.将步骤S1中载板上平铺的硅片加热后进氧化硅镀膜工艺腔进行SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 钝化 接触 太阳能电池 板式 体式 镀膜 方法 设备 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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