[发明专利]一种高致密锇靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202010881638.6 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112144023B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 吕宏;谢元锋;夏扬;张超 | 申请（专利权）人： | 有研工程技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F5/00;B22F3/14 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101407 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高致密锇靶材的制备方法。包括以下步骤：(1)称取锇粉、碳粉，在混料机中混合6～24小时，得到混合均匀的锇粉、碳粉混合粉末；(2)将锇粉、碳粉混合粉末装在烧结用模具中，将模具放入真空热压炉中，于1400～1700℃，热压烧结30～120分钟；(3)冷却到室温后，去除真空，脱模，获得烧结成型的高致密锇靶材坯料，然后通过线切割加工或者磨床磨削，得到高致密锇靶材。本发明利用锇粉吸附的氧化锇原位与碳的还原反应，放出一氧化碳或者二氧化碳生成纯锇，生成的纯锇在锇粉表面具有非常高的活性，能够促进粉末颗粒的粘接，排除锇的氧化物以及生成的气体，从而能够制备出致密度高于99％，晶粒细小的锇靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 致密 锇靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
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