[发明专利]一种基于模态驱动方法的调平装置及其调平方法在审
| 申请号： | 202010883785.7 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111964647A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 王俊尧;李云鹏;刘欢;佘进波;孙功臣;陈星宇 | 申请（专利权）人： | 东北电力大学 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00;B01L3/00 |
| 代理公司： | 长春市吉利专利事务所(普通合伙) 22206 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 13201*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明设计了一种基于模态驱动方法的调平装置，主要包括驱动模块、调平模块、支撑结构。驱动模块主要由蜂窝形压电驱动器103和压电陶瓷403组成。调平模块主要由超声电机202、调平杆301、导杆203和无线倾角传感器105组成；支撑结构104用做对蜂窝形压电驱动器及超声电机进行固定。本发明所设计的调平装置使用压电驱动器驱动，驱动原理采用压电陶瓷的逆压电效应；调平装置的精度高达纳米级，具有工作状态噪音小、基本无误差的优点，适用于微纳米芯片的装配平台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 驱动 方法 平装 及其 平方 | ||
【主权项】：
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