[发明专利]判断研磨头的胶膜是否扭曲的方法有效
| 申请号： | 202010884254.X | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111993265B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 古峰 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B49/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种判断研磨头的胶膜是否扭曲的方法，研磨头包括第一研磨区域及围绕第一研磨区域的多个第二研磨区域，第一研磨区域为圆状，第二研磨区为同心环状，第一研磨区域与相邻的第二研磨区域的交界处的区域为相邻域，包括：获取第一研磨区域的研磨速率及相邻域的研磨速率；将第一研磨区域的研磨速率与相邻域的研磨速率的差值与设定值进行比较，以判断出研磨头的胶膜是否扭曲。本发明的判断研磨头的胶膜是否扭曲的方法，利用第一研磨区域的研磨速率和相邻域的研磨速率经过计算处理，来实现判断出研磨头的胶膜是否扭曲。无需对设备进行升级改造，且能够有效的判断出研磨头的胶膜是否扭曲。 | ||
| 搜索关键词： | 判断 研磨 胶膜 是否 扭曲 方法 | ||
【主权项】：
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