[发明专利]一种喷淋式冷却溅射阴极磁棒装置在审
| 申请号： | 202010884587.2 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111876741A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 靳伟;曹永军;陈建飞 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;F25D31/00 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种喷淋式冷却溅射阴极磁棒装置，包括靶管、磁铁以及冷却液管路，其中所述磁铁置于所述靶管的内部，所述冷却液管路具有冷却液进口、冷却液出口以及冷却液喷淋口，所述冷却液进口与所述冷却液出口相连通，所述冷却液喷淋口开设在所述冷却液管路上且朝向所述靶管以构成喷淋式冷却。本发明的优点是：1）可以在各种角度工作的溅射阴极内部使用，避免因为靶管内部存在气泡或者未充满冷却液造成靶材开裂；2）磁棒的局部磁场强度可以通过外部的磁铁背部连杆方便调节；3）磁棒的磁铁与冷却液完全隔离，避免冷却液对磁铁的不良影响，保证磁棒的使用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷淋 冷却 溅射 阴极 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光驰科技（上海）有限公司，未经光驰科技（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010884587.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
