[发明专利]真空室扇区内壁多点多普勒激光测振仪检测设备有效
| 申请号： | 202010885388.3 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111912515B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 翟华;吴海波;吴玉程;李志伟;李盼盼 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G01B11/16 |
| 代理公司： | 合肥市泽信专利代理事务所(普通合伙) 34144 | 代理人： | 方荣肖 |
| 地址： | 230009 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空室扇区内壁多点多普勒激光测振仪检测设备，该检测设备包括至少一个检测装置，每个检测装置包括底座安装系统、回转系统、摆动系统、检测系统以及驱动系统。底座安装系统包括下安装底座，下安装底座安装在真空室的中央支架的最小形变处。回转系统包括回转轴以及回转工作台，回转轴转动安装在下安装底座上，回转工作台安装在回转轴上。摆动系统包括两个支架、上安装底座、固定齿轮以及行星齿轮。检测系统包括安装平台和多普勒激光测振仪，驱动系统包括驱动电机一、驱动组件一、驱动电机二以及驱动组件二。本发明实现检测区域的全覆盖，可以测量多点的变形情况，提高测量效率，可以自动控制回转角度和摆角，提高精度。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 扇区 内壁 多点 多普勒 激光 测振仪 检测 设备 | ||
【主权项】：
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