[发明专利]一种LDI平台误差补偿方法有效
| 申请号： | 202010886098.0 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111983900B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 陈修涛 | 申请（专利权）人： | 合肥众群光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 合肥兴东知识产权代理有限公司 34148 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市蜀*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种LDI平台误差补偿方法，包括以下步骤：S1、将标定板固定在吸盘上；S2、LDI运动驱动组件使相机成像组件中的面阵相机通过对应的导轨在X轴上来回运动，使吸盘通过对应的导轨在与X轴水平垂直的Y轴上且位于面阵相机下方来回运动，在此过程中，相机成像组件扫描标定板，抓取所有标定点；S3、多次移动标定板，重复步骤S2；S3、相机成像组件中的面阵相机将标定的坐标数据传输到主控组件中进行计算，获得误差项；S4、通过步骤S3获得的补偿参数计算出综合误差，然后将综合误差转化为主控组件可接受的形式写入主控组件中，完成补偿。该发明将LDI运动平台的误差分解为不同的误差项,可对平台的误差进行补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ldi 平台 误差 补偿 方法 | ||
【主权项】：
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