[发明专利]光学设备及其工作方法有效
| 申请号： | 202010886744.3 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112535911B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;邓曾红;黄有为;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/62 | 分类号： | B01D46/62 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 高静 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学设备及其工作方法，其中，所述光学设备包括：供气装置，用于提供清洁气体；分流单元，用于将所述清洁气体分为第一清洁气体和第二清洁气体；第一过滤装置，用于对所述第一清洁气体进行第一过滤处理，所述第一过滤装置包括酸碱过滤器，所述酸碱过滤器用于去除所述第一清洁气体中的酸性和/或碱性气体，形成第三清洁气体；与所述第三清洁气体连通的光学腔室，所述光学腔室内用于形成光路；与第二清洁气体连通的气动装置，所述第二清洁气体用于为气动装置提供力的作用。所述光学设备能够在减少光学元件污染的条件下，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 设备 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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