[发明专利]一种MEMS多轴振动传感器结构有效
| 申请号： | 202010886983.9 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111998840B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 李宝林;王露;张毅;王浩;王梅 | 申请（专利权）人： | 中电科技集团重庆声光电有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400032 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明属于MEMS传感器领域，涉及一种MEMS多轴振动传感器结构，包括交叉布置的X轴结构及Y轴结构；所述X轴结构与Y轴结构均由两个相对布置的传感单体对称布置组成；所述X轴结构与所述Y轴结构的四个所述传感单体均连接在布置在整体MEMS多轴振动传感器结构中心的中心TSV上；所述传感单体包括可动质量块、悬臂、弹簧；所述可动质量块通过弹簧固定在悬臂上且所述质量块与所述悬臂之间电隔离；所述悬臂固定在中心TSV上；所述可动质量块上布置有可动电极，悬臂上布置有固定电极，可动电极与固定电机组成感应电容。X、Y轴质量块是对称双电极结构，当环境温度发生变化的时候，正负电极产生大致相同符号相反的电容变化，提高传感器的环境适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 振动 传感器 结构 | ||
【主权项】：
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