[发明专利]制冷系统有效
| 申请号： | 202010888845.4 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112082292B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 冯涛;芮守祯;董春辉;常鑫;宋朝阳;何茂栋;曹小康 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号： | F25B41/20 | 分类号： | F25B41/20;F25B41/40 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩世虹 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及制冷系统，包括压缩制冷回路、冷却水制冷回路、循环液回路和换热器，换热器的放热通路与循环液回路连通，换热器的第一吸热通路与压缩制冷回路连通，冷却水制冷回路包括进水管路和出水管路，进水管路、换热器的第二吸热通路与出水管路依次连通，进水管路上设有用于向换热器通入气体的进气管路。根据不同温度工况，运行不同制冷模式，低温工况下可以选择压缩制冷模式，高温工况下3种模式都可以选择，降低高温工况的系统能耗。当制冷系统运行低温工况时，利用气体压力将换热器的第二吸热通路中的水排出至冷却水制冷回路的出水管路或者地漏中，实现自动排水，防止换热器内的冷却水结冰，保证系统运行安全。 | ||
| 搜索关键词： | 制冷系统 | ||
【主权项】：
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