[发明专利]一种大容量单晶硅片快速烘干系统在审
| 申请号： | 202010890374.0 | 申请日： | 2020-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN112161431A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 陈春成;戚建静 | 申请（专利权）人： | 江苏晶品新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B15/12;F26B21/00;F26B23/04;F26B25/12;F26B25/18 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 艾秀丽 |
| 地址： | 225600 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及单晶硅片生产技术领域，且公开了一种大容量单晶硅片快速烘干系统，包括底座，所述底座顶部固定连接有烘干箱，所述烘干箱底部开设有烘干槽，所述底座顶部固定连接有位于烘干槽内且贯穿烘干箱并延伸至烘干箱右侧的进料输送带，所述底座顶部固定连接有位于烘干槽内且贯穿烘干箱并延伸至烘干箱左侧的出料输送带。该大容量单晶硅片快速烘干系统，解决了目前的单晶硅片烘干装置在烘干时把需要烘干的单晶硅片放置在托盘上，导致接触托盘的一面的烘干速度低于远离托盘一面的烘干速度，导致整体烘干效率降低，而且目前的烘干装置不便于拿取烘干完毕的单晶硅片，人工拿取容易造成烫伤的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 容量 单晶硅 快速 烘干 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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