[发明专利]一种耐湿热的低温强化透明导电复合膜的制备方法有效
| 申请号： | 202010892018.2 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112117054B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 雷沛;颜悦;霍钟祺;钟艳莉;张旋;纪建超;潘兴浩;李佳明 | 申请（专利权）人： | 中国航发北京航空材料研究院 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/14;C23C14/18 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 陈宏林 |
| 地址： | 100095 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是一种耐湿热的低温强化透明导电复合膜的制备方法，该复合膜的层结构从上至下依次包括强化的氧化物层/半金属态过渡层/金属层/衬底。强化的氧化物层借助逐层等离子体辅助强化的方法，低温下沉积氧化物薄膜薄层间断式用等离子体轰击强化，然后在氧化与金属层间加入金属态过渡层，沉积金属层，制备出了具有显著抗湿热性能和稳定性的多层透明导电复合膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿热 低温 强化 透明 导电 复合 制备 方法 | ||
【主权项】：
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