[发明专利]传感器封装结构及传感器封装工艺在审
申请号: | 202010892246.X | 申请日: | 2020-08-28 |
公开(公告)号: | CN111977609A | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 陆春荣 | 申请(专利权)人: | 青岛歌尔智能传感器有限公司 |
主分类号: | B81B7/00 | 分类号: | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 梁馨怡 |
地址: | 266100 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开一种传感器封装结构及传感器封装工艺,其中,所述传感器封装结构,包括:基板,所述基板设有互联电路,所述基板具有相背设置的第一表面和第二表面;MEMS传感器芯片,贴装于所述第一表面上;ASIC芯片,贴装于所述第二表面上,所述ASIC芯片通过所述互联电路与所述MEMS传感器芯片相连接;锡球,设于所述第二表面,所述锡球与所述互联电路相连接;以及第一封装层,设于所述第二表面,所述ASIC芯片和所述锡球封装于所述第一封装层内,所述锡球远离所述第二表面的一侧裸露于所述第一封装层的表面。本发明通过将锡球封装在第一封装层内,形成外接信号端,能够实现ASIC芯片封装的同时,节省空间,减小产品整体体积。 | ||
搜索关键词: | 传感器 封装 结构 工艺 | ||
【主权项】:
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