[发明专利]一种基于马赫-曾德尔结构的折射率传感器及其检测方法有效
| 申请号： | 202010893307.4 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN111982859B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 尹锐;黄庆捷;季伟;杨洪亮 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45;G01D5/353 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 赵龙群 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于马赫‑曾德尔结构的折射率传感器及其检测方法，该传感器包括马赫‑曾德尔结构，在其中一个干涉臂上剥离掉一定长度的包层，形成折射率感知区，折射率感知区用于检测液体或气体；当待测液体或气体注入到折射率感知区，会导致折射率感知区中干涉臂的有效折射率变化，进而引起器件输出光谱的中心波长的变化，并且有效折射率的变化与中心波长的变化是线性的，输出光谱的中心波长为输出强度与输入强度比值最大时对应的波长。本发明提供的基于马赫‑曾德尔结构的折射率传感器制作成本低、制备简单、结构坚固，器件中心波长的改变量与待测折射率的改变量呈线性关系，因此可以同时做到超大量程与高灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 马赫 曾德尔 结构 折射率 传感器 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
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