[发明专利]一种基于热对流原理的柔性加速度传感器在审
申请号: | 202010894299.5 | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN111983255A | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 聂萌;问磊 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01P15/00 | 分类号: | G01P15/00 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 吴旭 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种柔性的基于热对流原理的加速度传感器,包括由聚二甲基硅氧烷材料制备的带有空腔的顶盖;含有气体包括空气、惰性气体等,亦或是液体包括水、油填充物的腔体;安置于密封腔体中部位置的加热元件;若干安置于密封腔体内并围绕加热元件对称的感温元件;由聚酰亚胺、柔性PVC聚合物材料制备的柔性衬底。通过测量电路与感温元件构成惠斯通电桥,通过测量惠斯通电桥上两端的电压值变化,结合比例关系进而得到加速度的大小。本发明采用微机械热对流式加速度传感器工作原理,无悬空、可动结构的柔性加速度传感器,相比于已有的柔性加速度传感器,极大的提高了柔性加速度传感器的可靠性、耐冲击性;降低了制造成本、工艺复杂度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 对流 原理 柔性 加速度 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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