[发明专利]一种基于热对流原理的柔性加速度传感器在审
| 申请号： | 202010894299.5 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN111983255A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 聂萌;问磊 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P15/00 | 分类号： | G01P15/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 吴旭 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性的基于热对流原理的加速度传感器，包括由聚二甲基硅氧烷材料制备的带有空腔的顶盖；含有气体包括空气、惰性气体等，亦或是液体包括水、油填充物的腔体；安置于密封腔体中部位置的加热元件；若干安置于密封腔体内并围绕加热元件对称的感温元件；由聚酰亚胺、柔性PVC聚合物材料制备的柔性衬底。通过测量电路与感温元件构成惠斯通电桥，通过测量惠斯通电桥上两端的电压值变化，结合比例关系进而得到加速度的大小。本发明采用微机械热对流式加速度传感器工作原理，无悬空、可动结构的柔性加速度传感器，相比于已有的柔性加速度传感器，极大的提高了柔性加速度传感器的可靠性、耐冲击性；降低了制造成本、工艺复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 对流 原理 柔性 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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