[发明专利]一种检测薄膜膜厚的台阶仪及计算方法在审
| 申请号： | 202010894440.1 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN111998785A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 温质康;乔小平;林佳龙 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01D1/16;G06F17/15 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检测薄膜膜厚的台阶仪及计算方法，驱动金刚石压头下压，获取金刚石压头压合薄膜样品的压力值；驱动第一CCD镜头测量所述金刚石压头对样品薄膜上金刚石压痕的对角线长度，获取金刚石压痕的对角线长度；获取的金刚石压痕的对角线长度和金刚石压头压合薄膜样品的压力值进行计算，获得金刚石压头压合薄膜的硬度；获取的金刚石压头压合薄膜的硬度与标准压痕长度进行计算，得出触针压头在当前薄膜样品下，触针压头压合薄膜样品的压力值。通过触针压头旁增设金刚石压头，检测自动算出金刚石压头对不同薄膜下压时，压痕的区域对角线长度，逆算计算出触针最佳的下压力大小，提高了薄膜厚度量测的准确性以及减少触针压头的损坏率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 薄膜 台阶 计算方法 | ||
【主权项】：
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