[发明专利]一种用于OLED显示面板的TFT器件结构有效
申请号: | 202010898209.X | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN111969029B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 孔善右;张仕明;黄德云;葛栋;李丽咱;任军;韦华;朱崇芝;王国庆;王梓 | 申请(专利权)人: | 江苏仕邦柔性电子研究院有限公司 |
主分类号: | H10K59/121 | 分类号: | H10K59/121;H10K59/126;H10K59/40 |
代理公司: | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人: | 吴倩 |
地址: | 210000 江苏省南京市江北新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于OLED显示技术领域,具体涉及一种用于OLED显示面板的TFT器件结构,包括:TFT阵列基板,所述TFT阵列基板包括衬底基板,所述衬底基板上表面设置有衬垫层,所述衬垫层上表面设置有遮光层,所述遮光层上表面设置有覆盖所述遮光层和所述衬垫层的多晶硅层,所述多晶硅层上表面设置有覆盖所述多晶硅层的介质层,所述介质层上表面一侧设置有半导体层,所述半导体层上表面设置有覆盖所述半导体层和所述介质层的栅极绝缘层,所述栅极绝缘层上表面设置有栅极,所述栅极上表面设置有覆盖所述栅极和所述栅极绝缘层的层间绝缘层,所述层间绝缘层上表面设置有源极和漏极;本发明性能更加优良,材料工艺成本更低。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 oled 显示 面板 tft 器件 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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