[发明专利]一种原子力显微镜用亚微米探针的制备方法在审
| 申请号： | 202010899178.X | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN112180124A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 李慧琴;韩瑶;何琳 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人： | 郑立 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，涉及原子力显微镜探针的修饰和加工技术领域，包括以下步骤：通过聚焦离子束(FIB)技术把微悬臂探针的前端切割成平台；将用于制备探针的微球颗粒均匀分散在硅片上；将机械手轻轻接触微球颗粒，使微球颗粒吸附到机械手表面；移动机械手使其靠近探针表面，使微球颗粒吸附在探针表面；利用离子源把微球颗粒固定在探针表面。本发明利用聚焦离子束技术，分辨率高，操作方便、直观；可以制备多种形状和性质的亚微米颗粒探针，具有广泛的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子 显微镜 微米 探针 制备 方法 | ||
【主权项】：
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