[发明专利]一种涂层机

摘要

本发明涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种涂层机，其包括真空罩、液冷载台组件、弹性密封件、真空罩底座冷盘以及热源组件，真空罩底座冷盘密封安装于真空罩的底壁，液冷载台组件滑动设置于真空罩底壁，液冷载台组件和真空罩底座冷盘均为中空结构，液冷载台组件用于承载刀具并调整刀具与热源组件之间的距离，弹性密封件的一端与液冷载台组件密封安装，弹性密封件的另一端与真空罩底座冷盘密封安装。本发明能够有效、快速地对液冷载台组件和真空罩底壁实现降温，使得液冷载台组件和真空罩能够长期处于高温环境下工作，还能够加强液冷载台组件与真空罩安装的密封性，实现沉积温度均匀，有效避免刀柄出现黑化现象，提高良品率。