[发明专利]高效的圆晶棒升降式除尘设备

摘要

本发明公开了一种高效的圆晶棒升降式除尘设备，包括机架组件、除尘组件、平衡组件、喷淋组件。除尘组件安装在机架组件中间位置，对晶棒起到擦拭的效果。平衡组件与除尘组件相连接，用于调节棉布轮的位置。喷淋组件安装于除尘组件的两侧，用于清洗晶棒。晶棒在流水线上流经与棉布轮接触，同时在流水线的推力的作用下给棉布轮一个向上的分力，在平衡组件的作用下，使得棉布轮向上的力大于自身重力，导致棉布轮沿着晶棒的表面上下浮动，喷淋组件一直处于喷水状态，从而实现了晶棒流经升降式除尘设备即完成了表面除尘。高效率的表面除尘过程。本发明的高效的圆晶棒升降式除尘设备具有结构简单、除尘速度快，除尘效果好的优点。