[发明专利]一种合金薄膜电沉积设备及其在Au80Sn20共晶焊料制备中的应用在审

专利信息
申请号: 202010902301.9 申请日: 2020-08-31
公开(公告)号: CN111910228A 公开(公告)日: 2020-11-10
发明(设计)人: 奚亚男;胡淑锦 申请(专利权)人: 惠州市钰芯电子材料有限公司
主分类号: C25D3/62 分类号: C25D3/62;C25D5/08;C25D7/00;C25D21/10;C25D21/14;B23K35/30;B23K35/40
代理公司: 佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) 44387 代理人: 颜春艳
地址: 516083 广东省*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种合金薄膜电沉积设备及其在Au80Sn20共晶焊料制备中的应用。设备包括电镀槽和补加槽。基本结构包括槽体(1),电镀槽盖(2)和补加槽盖(3)。在电镀槽部分,包括喷射装置(4),测温系统(5)、加热棒(6),阳极挂具(7)、阴极片(8)、旋转装置(9)、密封系统(10),进料口(11)。在补加槽部分,包括料液出口(12),温控系统(13)和加热棒(14)。料液进出口连接外加电机及过滤装置。电镀电源通过接口(15)连接。本发明的反应器装置用于制备微米级尺寸的Au80Sn20合金焊料。成膜速度快、膜厚范围宽、可以精确控制金锡的比例,并能形成微细复杂的形状。避免了合金箔片熔融焊接时,焊片尺寸与形状发生改变,导致焊接位置偏移,钎焊性能大幅度降低。设备适用于超小型化与超薄型电子元器件的焊接。
搜索关键词: 一种 合金 薄膜 沉积 设备 及其 au80sn20 焊料 制备 中的 应用
【主权项】:
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