[发明专利]一种基于热补偿的传感器在审
| 申请号： | 202010904316.9 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN111880001A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 崔孝海;袁文泽;谷若晨;丁晟;吴昭春;赵巍;刘潇蒙;贾超 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01R21/02 | 分类号： | G01R21/02;G01R21/14 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 申星宇 |
| 地址： | 100031 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于太赫兹功率测量技术领域，提供了一种基于热补偿的传感器，所述传感器在内部新增设置了补偿端，其中工作端和补偿端具有相同的波导结构和传感芯片，并且在补偿端和工作端之间增加了包围着第一波导和第二波导的第一铜片和第二铜片作为热短路结构；因此，使工作端和补偿端的传感芯片具有相同的热结构，从而对于环境温度变化具有相同的响应，则可以通过补偿端的直流偏置功率变化得到任意时刻工作端的初始直流偏置功率，从而根据补偿端的直流偏置功率变化与工作端的初始直流偏置功率的对应关系，对工作端的初始直流偏置功率进行补偿，降低因温度变化等因素而导致对太赫兹功率测量的误差，从而可提高太赫兹功率测量的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 补偿 传感器 | ||
【主权项】：
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