[发明专利]一种智能飞秒激光光刻胶组合物及图案化方法在审
| 申请号： | 202010909760.X | 申请日： | 2020-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN111999981A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 曹春;匡翠方;黄宁;刘旭;何敏菲;沈小明 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 310023 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种智能飞秒激光光刻胶组合物及图案化方法，该智能飞秒激光光刻胶由智能活性单体、活性稀释剂、双光子引发剂及溶剂组成；其中，智能活性单体为特殊可光聚合的N‑取代丙烯酰胺类化合物；活性稀释剂为可光聚合的(甲基)丙烯酸酯类化合物；双光子引发剂为对飞秒激光具有非线性双光子吸收和引发能力的化合物。本发明智能飞秒激光光刻胶组合物可以被飞秒激光引发聚合，并对温度产生智能响应；当升高温度时，智能飞秒激光光刻胶发生均匀、稳定、可控的体积收缩，从而获得更高的分辨率和更小的特征尺寸，可以提高光刻胶的分辨率；通过控制智能活性单体的添加量可以控制光刻胶的收缩率，具有稳定可控的图案化制造能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 智能 激光 光刻 组合 图案 方法 | ||
【主权项】：
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