[发明专利]一种具有气液隔离抽排功能的浸液供给回收装置有效
| 申请号： | 202010913184.6 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN112068401B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 池优阳;张颖;李元;徐宁;付新 | 申请（专利权）人： | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 林君勇 |
| 地址： | 311305 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有气液隔离抽排功能的浸液供给回收装置，包括基体，基体内部设置密封抽排流路，密封抽排流路包括抽排开口、抽排腔以及密封抽排口，抽排腔连通抽排开口与密封抽排口，密封抽排流路还包括设于抽排腔中的隔离板，隔离板使抽排腔内的浸没液体和外围气体较大程度的隔离流动，抑制了气液两相混合流动带来的抽排压力脉动、作用于浸液供给回收装置的振动等负面影响。有利于稳定浸液抽排负压，保证浸液抽排能力，防止浸液泄漏；并且抑制了浸液抽排过程对浸液供给回收装置本身和间接传递到光刻机其他组件的振动，有利于光刻机稳定工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有气 隔离 功能 浸液 供给 回收 装置 | ||
【主权项】：
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