[发明专利]一种用于芯片生产的干燥设备

摘要

本发明涉及一种用于芯片生产的干燥设备，包括主体、放置台和加热棒，还包括除水机构和辅助机构，除水机构包括圆环、除水板、两个驱动组件和两个限位杆，驱动组件包括电机、转轴、第一轴承和齿轮，辅助机构包括固定盒、两个充气组件和若干吹气管，充气组件包括气筒、密封板、进气管、出气管、传动单元、偏心轮、固定块、摩擦块、第二轴承、动力轴和两个弹簧，该用于芯片生产的干燥设备通过除水机构，使得除水板可以将晶片上方残留的水珠刮落，通过加热棒的烘干和除水板的除水两者不同形式实现干燥的功能，从而可以缩短烘干时间，提高工作效率，通过辅助机构，使得晶片腾空，减小了晶片与凹口内壁接触的面积，从而使得晶片可以被充分的烘干。