[发明专利]一种基于弹性微珠的电容型压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010917848.6 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN112179529B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 太惠玲;孙宇鹏;袁震;蒋亚东;黄琦;刘勃豪 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 杨保刚 |
| 地址： | 611731 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于弹性微珠的电容型压力传感器及其制备方法，该电容型压力传感器结构包括基底、电极层、介电层，在第一介电层和第二介电层之间设置有多个弹性微珠，弹性微珠材料为聚二甲基硅氧烷，在电容型压力传感器的介电层中引入弹性微珠，增加了介电层中的空气间隙，减小了介电层的杨氏模量，同时使传感器受到压力时内部应力集中分布于弹性微珠，器件更容易发生形变，进而提高电容型压力传感器的灵敏度和检测范围，结果表明，本发明提供的基于弹性微珠的电容型压力传感器在0‑10kPa下灵敏度为0.0479kPa |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 弹性 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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