[发明专利]一种去除夹持杆表面残渣的方法有效
| 申请号： | 202010918646.3 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112222097B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 刘汝强;王殿春;秦虎;周清波 | 申请（专利权）人： | 山东国晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;H01J23/24;H01J25/34 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 颜洪岭 |
| 地址： | 251200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种去除夹持杆表面残渣的方法，采用无菌高纯氮气对夹持杆进行高压吹扫，可有效去除夹持杆表面渗透的氮化硼残渣，使夹持杆表面达到较高的洁净度，清洁效果显著。本发明去除夹持杆表面残渣的方法，采用特制工装固定住夹持杆，能够避免夹持杆在高压吹扫下的变形，既达到清洁目的，又能保证夹持杆的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 夹持 表面 残渣 方法 | ||
【主权项】：
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