[发明专利]一种薄膜材料相变温度的测量装置在审
申请号: | 202010918872.1 | 申请日: | 2020-09-04 |
公开(公告)号: | CN111879808A | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 金森林;李硕;任玲玲 | 申请(专利权)人: | 中国计量科学研究院 |
主分类号: | G01N25/12 | 分类号: | G01N25/12 |
代理公司: | 北京悦和知识产权代理有限公司 11714 | 代理人: | 司丽春 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种薄膜材料相变温度的测量装置,包括:光学组件;真空腔,所述真空腔的顶部开设有入光孔,所述入光孔与所述光学组件的入射光线相对设置;高温炉,所述高温炉设置于所述真空腔内,所述高温炉的底部和侧向均安装有电阻加热片,所述电阻加热片通过导线与电源连接;样品室,所述样品室设置于所述高温炉内,所述样品室通过导热结构与所述电阻加热片导热连接,且样品放置于所述样品室内,热电偶内嵌于所述样品室中,并通过探头与所述样品相接触。其提高了薄膜材料相变温度的测量准确性。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 材料 相变 温度 测量 装置 | ||
【主权项】:
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