[发明专利]一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火工艺及其装置有效
| 申请号： | 202010920275.2 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112079375B | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 黄丰;李悌涛;汪宏 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C01G9/02 | 分类号： | C01G9/02 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 李思坪 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及氧化锌制备技术领域，具体涉及一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火工艺及其装置，为提供一种在弱氧化性或真空和较低温度的外部环境下实现ZnO:Li材料中富余间隙掺杂锂原子的氧化脱除方法，本发明提供一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火装置，包括高压釜、一氧化氮气体供应装置、真空泵和气路管道；同时，本发明还提供一种基于上述退火装置实现氧化锌间隙锂去除的工艺，该工艺可以在一个相对弱氧化性以及较低温的环境中脱除氧化锌掺Li薄膜材料中的间隙Li原子，避免了强氧化气氛中锌空位的重新生成，造成材料p型转变的失败；同时在这种热力学条件下，已经形成的替位Li是稳定的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 氧化锌 间隙 去除 一氧化氮 退火 工艺 及其 装置 | ||
【主权项】：
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