[发明专利]一种基于光学谐振腔游标效应的温度传感器及其控制方法有效

专利信息
申请号: 202010921181.7 申请日: 2020-09-04
公开(公告)号: CN112161723B 公开(公告)日: 2022-07-26
发明(设计)人: 田赫;孙伟民;张大昕;王勃然;张洪泉 申请(专利权)人: 苏州易奥秘光电科技有限公司
主分类号: G01K11/3206 分类号: G01K11/3206
代理公司: 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 代理人: 王海婷
地址: 215163 江苏省苏州市高*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种基于光学谐振腔游标效应的温度传感器及其控制方法,温度传感器包括光源、第一分束器、光栅、第二分束器、耦合器、环形波导、光谱仪和处理系统;光源连接第一分束器的光输入端,第一分束器的光输入输出端连接光栅的光输入输出端,第一分束器的光输出端连接第二分束器的光输入端,第二分束器的第一光输出端连接光谱仪的第一光输入端,第二分束器的第二光输出端连接耦合器的第一光输入端,耦合器的第二光输入端、第二光输出端连接环形波导,耦合器的第一光输出端连接光谱仪的第二光输入端,光谱仪连接处理系统,处理系统输出传感器输出信号;耦合器和环形波导构成环形谐振腔。本发明结构简单、敏感元件不受电磁场影响、精度高。
搜索关键词: 一种 基于 光学 谐振腔 游标 效应 温度传感器 及其 控制 方法
【主权项】:
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