[发明专利]基于电磁双控的超精密机床高精度加工装置及控制方法在审
| 申请号： | 202010922619.3 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN111922766A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 张敏;刘有海;戴晓静;孙守利;阳红;尹承真;杨光伟;姜忠 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | B23Q5/34 | 分类号： | B23Q5/34 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 林菲菲 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于电磁双控的超精密机床高精度加工装置，其技术方案要点是：所述运动平台包括运动部件以及与运动部件活动连接的支撑部件；所述运动部件设有磁控进给部件和电磁转化部件，电磁转化部件与磁控进给部件的输出端连接；电磁转化部件与支撑部件之间的接触面为平行面，磁控进给部件控制电磁转化部件的移动方向与接触面垂直设置；磁控进给部件、电磁转化部件的信号输入端均与控制器的信号输出端连接，磁控进给部件、电磁转化部件依次响应于运动平台的精加工反馈信号。在机床加工的最后一道工序时，在调整好进给量之后，通过电磁转化部件将运动部件吸附于支撑部件之上，不仅可以减小外界对该运动平台的干扰，也可以削弱身的振动强度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电磁 精密 机床 高精度 加工 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
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