[发明专利]一种红外探测器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010922645.6 申请日: 2020-09-04
公开(公告)号: CN112002783A 公开(公告)日: 2020-11-27
发明(设计)人: 王炫名 申请(专利权)人: 北京镁芯科技有限公司
主分类号: H01L31/105 分类号: H01L31/105;H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/18
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 刘继富;丁芸
地址: 100085 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种红外探测器,其包括GaSb衬底;GaSb缓冲层,其中掺杂有Be;超晶格结构,其包含P接触层、I吸收层和N接触层;所述P接触层为InAs/Ga0.75In0.25Sb,所述P接触层的Ga0.75In0.25Sb分子层中掺杂有Be;所述I吸收层为InAs/Ga0.75In0.25Sb,所述I吸收层的Ga0.75In0.25Sb分子层中掺杂有Be;所述N接触层为InAs/Ga0.75In0.25Sb,所述N接触层的InAs分子层中掺杂有Si;N盖层,N盖层为Si掺杂的InAs。上述红外探测器可以有效探温度测接近室温的低温目标,且探测灵敏度高。
搜索关键词: 一种 红外探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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