[发明专利]一种压电异形变幅杆超声研抛装置

摘要

本发明公开了一种压电异形变幅杆超声研抛装置，包括：换能器后预紧块；换能器前预紧块；第一压电陶瓷片；预紧部件，分别与换能器后预紧块以及换能器前预紧块固定连接以提供作用在第一压电陶瓷片上的预置静压力；以及振动传递部，包括振动输入端、振动输出端以及变幅杆，振动输入端与换能器前预紧块固定连接，变幅杆包括至少一柔性杆和一联接杆以及若干压电陶瓷堆叠杆，柔性杆的两端分别连接在振动输入端和振动输出端，压电陶瓷堆叠杆环绕布设在柔性杆的外周部。通过逆压电效应促使柔性杆在轴向方向进行位移补偿以弥补研磨抛光的磨损量，从而达到预置静压力平衡以及保持研抛系统的固有频率不变，以避免谐振频率漂移。