[发明专利]图像传感器的像素结构及其形成方法

摘要

一种图像传感器的像素结构及其形成方法，其中，结构包括：第一晶圆，所述第一晶圆具有相对的感光面和非感光面，所述第一晶圆包括若干感光区，每个感光区内具有1个感光器件；与第一晶圆键合的第二晶圆，所述第二晶圆具有相对的功能面和非功能面，所述非感光面朝向所述功能面，所述第二晶圆包括若干逻辑区，每个感光区与1个逻辑区对应，每个逻辑区的电路包括1个传输晶体管、以及与所述传输晶体管连接的浮置扩散区；位于每个对应的感光区和逻辑区内的第一硅通孔结构，所述感光面暴露出所述第一硅通孔结构表面，所述对应的感光区的感光器件、以及逻辑区的传输晶体管通过所述第一硅通孔结构电互连。从而，提高了图像传感器的性能。