[发明专利]一种玻璃镀膜设备之溅射腔体在审
| 申请号： | 202010925092.X | 申请日： | 2020-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN112159961A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 李军;周文谦;牛建国;谭光仁;张林嵩;高华;向淑君 | 申请（专利权）人： | 湖北亿钧耀能新材股份公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C03C17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 434000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开玻璃镀膜设备之溅射腔体，具有溅射腔室，溅射腔室之底部通过轴承支架设置传动辊，传动辊之间通过锁固支架设置第一冷却水管，溅射腔室之平行于传动辊的两侧内壁设置溅射档板，并在溅射档板与溅射腔室内壁呈面向一侧设置第二冷却水管，在位于溅射腔室内之溅射档板的下侧设置具有间隔开口槽的溅射底板，传动辊之传送轮分别设置在开口槽内，且传送轮形成的上平面高于溅射底板之上平面，溅射底板通过螺栓与固定设置在锁固支架上具有螺纹的独立锁固垫块连接。本发明采用沉孔式螺栓将溅射底板与锁固垫块进行连接，在出现螺栓扭曲、丝口变形等缺陷时不仅无需将锁固支架整体吊离，极大的降低了工作强度，而且操作方便，更加高效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 镀膜 设备 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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