[发明专利]一种覆铜陶瓷基板及其制备方法在审
申请号: | 202010927682.6 | 申请日: | 2020-09-07 |
公开(公告)号: | CN112164687A | 公开(公告)日: | 2021-01-01 |
发明(设计)人: | 王斌;贺贤汉;欧阳鹏;葛荘;孙泉;张恩荣 | 申请(专利权)人: | 江苏富乐德半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/48 |
代理公司: | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人: | 赵建敏 |
地址: | 224200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种覆铜陶瓷基板,烧结前包括位于中间的陶瓷层、位于陶瓷层上下两面的焊料层、贴附在焊料层上的应力缓冲层以及贴附在应力缓冲层上的金属铜层。应力缓冲层为金属片,毛面朝向焊料层、光面朝向金属铜层。制备方法如下:1)将作为应力缓冲层的铜箔和作为金属铜层的铜片去除油污后,进行防氧化清洗;2)陶瓷层双面丝网印刷焊料层或双面贴敷活性金属焊片;3)在焊料层或活性金属焊片上贴敷铜箔,在铜箔上覆盖金属铜层;4)在待烧结件上下放置压头;5)依照AMB工艺进行真空活性钎焊烧结并提供分子扩散焊所需条件,温度控制在700℃‑940℃,真空度小于0.01,烧结时间60min‑540min,铜箔和金属铜层分子扩散焊后形成微孔区。 | ||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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