[发明专利]一种非机械扫描的结构光显微三维成像装置及成像方法在审
申请号: | 202010928506.4 | 申请日: | 2020-09-07 |
公开(公告)号: | CN111913294A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 李璐璐;刘乾;张辉;黄小津 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00;G02B26/10;G01N21/88 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 唐邦英 |
地址: | 621000*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种非机械扫描的结构光显微三维成像装置及成像方法,所述结构光显微三维成像装置包括光源、透射式空间光调制器、聚焦透镜、液体透镜、显微物镜、CCD;所述透射式空间光调制器用于接收光源发出的光并将接收的光调制成结构光;所述透射式空间光调制器发出的结构光依次经过聚焦透镜、液体透镜和显微物镜聚焦在样品的表面;所述样品所反射的结构光依次经过显微物镜、液体透镜和聚焦透镜成像在CCD上。本发明的成像装置使用液体透镜实现非机械式扫描的结构光显微成像,可以避免机械式扫描引入的机械抖动误差,而且由于液体透镜的光轴与系统光轴一致,可以避免机械式扫描由于扫描光轴与系统光轴不平行而引起的误差。 | ||
搜索关键词: | 一种 机械扫描 结构 显微 三维 成像 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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