[发明专利]应用于高灵敏度光电探测器的分子材料部件及其制作方法有效

专利信息
申请号: 202010929848.8 申请日: 2020-09-07
公开(公告)号: CN112086531B 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 欧忠华 申请(专利权)人: 深圳市绿聚墨电子科技有限公司
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;H01L31/0216;H01L31/18;H01L31/105;H01L31/113
代理公司: 深圳驿航知识产权代理事务所(普通合伙) 44605 代理人: 杨伦
地址: 518000 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请实施例公开了应用于高灵敏度光电探测器的分子材料部件及其制作方法,该分子材料部件为应用于该高灵敏度光电探测器的PN结,该分子材料包括胶体量子点,方法包括:按照预设的方式制作胶体量子点薄膜,该胶体量子点薄膜作为该PN结的P型表面入射窗层;制作N型本征吸收层,并利用金属氧化物旋涂该N型本征吸收层,得到金属氧化物修饰的该N型本征吸收层;采用光刻工艺将该胶体量子点薄膜设置于该金属氧化物修饰的该N型本征吸收层的上表面,得到PN结。采用本申请,利用胶体量子点薄膜制作的P型表面入射窗层与半导体沟道层形成的PN结能够产生内建电场,有利于延长光生载流子的寿命,增强光电效应。
搜索关键词: 应用于 灵敏度 光电 探测器 分子 材料 部件 及其 制作方法
【主权项】:
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