[发明专利]一种抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法在审
| 申请号： | 202010931457.X | 申请日： | 2020-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN112162015A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 周李兵;贺耀宜;郝叶军;张清;胡文涛;王小蕾;张一波;赵立厂;陈珂;黄小明 | 申请（专利权）人： | 天地（常州）自动化股份有限公司;中煤科工集团常州研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 | 代理人： | 赵旭 |
| 地址： | 213100 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请揭示了一种抗气体干扰型MEMS气体传感器及制备方法，该方法包括：在氧化层的表面沉积形成一层金属电极层；利用化学气相沉积法，在金属电极层的表面沉积一层绝缘层；在绝缘层表面沉积一层气敏材料层；利用涂布或印刷的方式，在气敏材料层表面沉积一层分离膜，分离膜的纳米通道的孔径小于干扰气体分子的运动直径。本申请通过在制作MEMS气体传感器时，增加了分离膜，该分离膜的纳米通道的孔径小于干扰气体分子的运动直径，从而使得干扰气体分子在分离膜的纳米通道内发生大量碰撞，无法通过分离膜，从而实现对干扰气体的阻隔，避免干扰气体对传感器内敏感材料的影响，提高了热式传感器的准确性，使热式传感器对目标气体选择性较好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 干扰 mems 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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