[发明专利]一种基于折纸结构的曲率传感器有效

专利信息
申请号: 202010933149.0 申请日: 2020-09-08
公开(公告)号: CN112033277B 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 韩磊;陈立军 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: G01B7/293 分类号: G01B7/293;G01D5/241
代理公司: 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人: 沈廉
地址: 211189 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种基于折纸结构的曲率传感器,该曲率传感器包括柔性基板(1)、金属极板(2)、第一固支梁锚区(31)、第二固支梁锚区(32)、具有折叠薄膜结构的双端固支梁(4),第一折叠薄膜结构(52)、第二折叠薄膜结构(53)、第三折叠薄膜结构(51)、第四折叠薄膜结构(54)、平面电感(6);当柔性基板贴合在一个凹陷曲率的表面上时,该结构由于采用了基于折纸原理的折叠薄膜结构,使得双端固支梁折叠形成了一个向下凸出的立体结构,增大了双端固支梁与金属极板之间的电容变化量,因此该曲率传感器具有灵敏度高、测量误差小、工艺兼容、结构新颖等优势。
搜索关键词: 一种 基于 折纸 结构 曲率 传感器
【主权项】:
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