[发明专利]一种基于折纸结构的曲率传感器有效
申请号: | 202010933149.0 | 申请日: | 2020-09-08 |
公开(公告)号: | CN112033277B | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 韩磊;陈立军 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01B7/293 | 分类号: | G01B7/293;G01D5/241 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 沈廉 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种基于折纸结构的曲率传感器,该曲率传感器包括柔性基板(1)、金属极板(2)、第一固支梁锚区(31)、第二固支梁锚区(32)、具有折叠薄膜结构的双端固支梁(4),第一折叠薄膜结构(52)、第二折叠薄膜结构(53)、第三折叠薄膜结构(51)、第四折叠薄膜结构(54)、平面电感(6);当柔性基板贴合在一个凹陷曲率的表面上时,该结构由于采用了基于折纸原理的折叠薄膜结构,使得双端固支梁折叠形成了一个向下凸出的立体结构,增大了双端固支梁与金属极板之间的电容变化量,因此该曲率传感器具有灵敏度高、测量误差小、工艺兼容、结构新颖等优势。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 折纸 结构 曲率 传感器 | ||
【主权项】:
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