[发明专利]一种高选择性体声波谐振氢气传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010933600.9 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN112229905A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 孙博;何春华;廖广兰;王子奕;林建斌 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036;C23C14/30;C23C14/10;C23C14/02;C23C14/58;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C28/00;C23C16/56 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 孔娜;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于微纳制造相关技术领域，其公开了一种高选择性体声波谐振氢气传感器及其制备方法，所述氢气传感器包括氢气敏感层、氢气选择层及体声波谐振器，所述氢气敏感层设置在所述体声波谐振器上，所述氢气选择层设置在所述体声波谐振器上，且其与所述体声波谐振器之间形成收容空间，所述氢气敏感层收容在所述收容空间内；其中，所述氢气选择层为一层或者多层只允许氢气分子通过的薄膜。本发明实现了对氢气的选择性吸附，提高了检测的准确性，且所述氢气传感器的结构简单，对氢气检测选择性强，灵敏度高，响应快，且能与集成电路工艺兼容，可实现微型化，产品化，可以应用于复杂气氛环境中氢气的高灵敏检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 选择性 声波 谐振 氢气 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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