[发明专利]磁隧道结的测试方法和测试系统在审
| 申请号： | 202010933783.4 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN112083360A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 赵月雷;周艳 | 申请（专利权）人： | 香港中文大学（深圳） |
| 主分类号： | G01R33/12 | 分类号： | G01R33/12;C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 李睿 |
| 地址： | 518172 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种磁隧道结的测试方法和测试系统。上述测试方法包括如下步骤：在基材的同一侧的不同位置处分别溅射靶材，以在基材上沉积多个薄膜样品，每个薄膜样品之间相互间隔且每个薄膜样品沉积时的工艺参数不同；对基材进行微纳加工处理，在每个薄膜样品上形成一个霍尔条，每个霍尔条包括多个相互间隔的子条，子条的数量、间距及尺寸与CIPT测试设备所用的探针的数量、间距及尺寸均相同；将霍尔条的每个子条分别引出一个电极，对薄膜样品的电磁特性进行测试上述磁隧道结的测试方法的效率高、成本低，能够快速高效摸索得到制备磁隧道结的最优的工艺参数。 | ||
| 搜索关键词： | 隧道 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
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