[发明专利]基板分割方法和划线用载物台在审
| 申请号： | 202010933946.9 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN112573811A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 曾山浩 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/02 | 分类号： | C03B33/02;C03B33/023;C03B33/03 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了基板分割方法和划线用载物台，能够在避免对从基板切出的产品区域造成损坏的同时，稳定地切出产品区域。在工作台面上直接配置玻璃基板(11)，该工作台面包括由具有3GPa以上的杨氏模量的第一材料构成的第一支承面以及由具有比第一材料的杨氏模量小的杨氏模量的第二材料构成的第二支承面。沿第一支承面上的第一虚拟线(ML1)在玻璃基板上形成第一划线(SL1)。通过刀尖在玻璃基板上的滑动，形成沿第二虚拟线(ML2)的第一沟槽线(TLx)，该第二虚拟线具有第一支承面上的第一部分、第二支承面上的第二部分以及与第一虚拟线交叉的第一交叉点(XP1)。以第一划线与第一沟槽线在第一交叉点处交叉为触发，破坏第一沟槽线的无裂纹状态。 | ||
| 搜索关键词： | 分割 方法 划线 用载物台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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