[发明专利]金属基材碳纳米膜材料制造设备及其制备方法

摘要

本发明公开了一种金属基材碳纳米膜材料制造设备包括真空反应炉、高频电源、供气装置以及抽真空装置，同时还公开基于上述设备的金属基材碳纳米膜制备方法，利用碳元素化学气相沉积法及碳元素磁控溅射法在金属基材表面生成一层具有SP2和SP3杂化混合结构碳纳米膜，此种金属基材碳纳米膜材料在光照和施加电场时对水分子有强催化作用，此外此种碳纳米膜具有优良的导电、防腐、抑菌等特性，此种金属基材碳纳米膜材料在污水治理、水处理、大气治理、表面防腐、保健医疗等领域均有广泛的应用前景。